温度补偿滤波器的制备方法、温度补偿滤波器和电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202210341696.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114679146A | 公开（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申请公布号 | CN114679146A | 申请公布日 | 2022-06-28 |
| 分类号 | H03H3/10（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 袁燕;于海洋;孟腾飞;闫彬;倪烨;张倩;王君;段英丽;冯志博;胡扬端瑞;时鹏程;徐浩;陈瑞 | 申请（专利权）人 | 北京航天微电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100854北京市海淀区永定路50号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及温度补偿滤波器技术领域，尤其涉及一种温度补偿滤波器的制备方法、温度补偿滤波器和电子设备，制备方法包括：利用光刻工艺，在基片上制备第一金属薄膜，并剥离光刻工艺中所用的光刻胶；通过套刻工艺，在第一金属薄膜的部分区域上制备第二金属薄膜，并剥离套刻工艺中所用的光刻胶；利用磁控溅射设备在第一金属薄膜和第二金属薄膜上制备温补薄膜，去除第二金属薄膜以及第二金属薄膜上的部分温补薄膜，得到温度补偿滤波器。避免了因携带光刻胶进入磁控溅射设备的真空腔室镀膜所导致的污染。而且，能够避免干法刻蚀和湿法刻蚀带来的不利影响。 |
