一种宽带TC-SAW器件及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111434266.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114124020A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114124020A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | H03H9/02（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 史向龙;陈晓阳;张俊茜;于倩至;苏波 | 申请（专利权）人 | 北京航天微电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 冯瑛琪 |
| 地址 | 100854北京市海淀区永定路50号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于滤波器技术领域。具体的，本发明提供了一种宽带TC‑SAW器件，包括依次层叠的单晶压电薄膜层、温度补偿层、高声速薄膜层和衬底层。本发明还提供了上述宽带TC‑SAW器件的制备方法。上述器件具有机电耦合系数大、温度系数小、Q值较高的优点。 |
