一种基于CELL的边缘缺陷检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110737272.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113409295A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113409295A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | G06T7/00（2017.01）I;G06T7/11（2017.01）I;G06T7/13（2017.01）I;G06T5/00（2006.01）I;G06T3/60（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 陈晨;陶平;张莲莲;靳松;田永军;李伟;陈永超 | 申请（专利权）人 | 北京兆维电子（集团）有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵秀斌 |
| 地址 | 100015北京市朝阳区酒仙桥路14号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于CELL的边缘缺陷检测方法，包括：收集历史检测CELL产品累积的数据样本，得到数据标注样本；将数据标注样本输入深度卷积神经网络中进行模型训练，训练出一个稳定收敛的分割模型；捕捉待测CELL产品的产品图像，通过分割模型分割出产品图像中的缺陷坐标位置和mark坐标位置，将缺陷坐标位置输出；调取待测CELL产品的产品图像，将有限个边缘点进行直线拟合，分别得到水平拟合线和垂直拟合线；根据mark坐标位置，分别对拟合出来的水平拟合线和垂直拟合线进行间距测量，得到间距参数输出。本发明建立了分割模型，能够对输入的产品图像中的缺陷进行分割，能够同步对CELL产品的缺陷以及边距进行测量，提升检测效率，缺陷和边距检测精度高。 |
