一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统
基本信息
| 申请号 | CN202110704926.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113340911A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113340911A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | G01N21/89（2006.01）I;G01N21/892（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王馨莹;李伟;刘欣;孟鹏飞;王福旺;李立锋;宋思儒;林涛;陶平;田永军 | 申请（专利权）人 | 北京兆维电子（集团）有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱晓彤 |
| 地址 | 100015北京市朝阳区酒仙桥路14号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统，包括驱动单元、成像旋转单元和无限远成像单元，驱动单元固定设置，用于带动待检测的产品绕竖直设置的轴水平转动，成像旋转单元和无限远成像单元架设在驱动单元的上方；无限远成像单元对产品进行成像，成像旋转单元用于在产品成像时旋转图像。本发明的有益效果是实现孔区弧周缺陷检测，同时克服矩形视野采集弧形目标时检测区域位置大小、重复区域不固定的缺点，光学检测的效率大大提高，且检测更为全面，检测的效果较佳。 |
