一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN202110691592.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113422292A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113422292A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | H01S5/183（2006.01）I;H01S5/042（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 寇君龙;饶志龙;毛明明 | 申请（专利权）人 | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 林凡燕 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括：衬底；第一反射层，设置在所述衬底上；有源层，设置在所述第一反射层上；第二反射层，设置在所述有源层上，所述第二反射层内包括出光区和非出光区；第一凹槽阵列，设置在所述第二反射层内，所述第一凹槽阵列位于所述非出光区内，所述第一凹槽阵列位于所述出光区的至少一侧；绝缘层，设置在所述第二反射层上，且填充所述第一凹槽阵列；第一电极，设置在所述绝缘层上，位于所述出光区上，连接所述第二反射层；第二电极，设置在所述衬底的底部。本发明提出的垂直腔面发射激光器可以提高调制带宽。 |
