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一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用

基本信息

申请号 CN202110798123.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113258443B 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN113258443B 申请公布日 2021-09-28
分类号 H01S5/183（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 李辉杰;李含轩;李善文 申请（专利权）人 常州纵慧芯光半导体科技有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 林凡燕
地址 213000江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括：衬底；第一反射层，设置在所述衬底上；有源层，设置在所述第一反射层上，用于发射激光束；第二反射层，设置在所述有源层上；其中，所述第二反射层中至少包括一光学散射层，所述激光束经过所述光学散射层形成远场光斑，所述光学散射层将边缘的所述激光束散射至所述远场光斑的中心区域内；其中，所述光学散射层上包括光学散射粒子，所述光学散射粒子包括起伏的界面；其中，所述光学散射层的粗糙度大于所述第一反射层的粗糙度。本发明提出的垂直腔面发射激光器可以获得能量分布均匀的远场光斑。