一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN202010143255.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111211482B | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN111211482B | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01S5/042;H01S5/183 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张成;刘嵩;梁栋;翁玮呈;丁维遵;赵励;张鹏飞;毛明明 | 申请（专利权）人 | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 王华英 |
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括，衬底；第一反射层，形成在所述衬底上；至少两个发光单元，形成在所述第一反射层上，每一所述发光单元包括至少两个发光子单元；第一沟槽，形成在所述至少两个发光单元之间，所述第一沟槽暴露出所述衬底；绝缘层，形成在所述第一沟槽内；第一电极，形成在所述至少两个发光单元上，连接所述至少两个发光单元，且每一所述发光单元内的发光子单元通过所述第一电极连接，形成公共阳极；至少两个第二电极，与所述第一反射层接触；其中，所述第一电极覆盖所述发光子单元，所述发光子单元发射的光线通过所述衬底出射。本发明提出的垂直腔面发射激光器应用频率快。 |
