一种垂直腔面发射激光器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110728999.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113451884A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113451884A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01S5/183（2006.01）I;H01S5/14（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 寇君龙;饶志龙 | 申请（专利权）人 | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 苏舒音 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法，包括激光器谐振腔结构；激光器谐振腔结构包括叠层设置的激光腔、衬底和外腔谐振腔；沿激光光束的出射方向，垂直腔面发射激光器的有效腔长包括激光腔的厚度、衬底的厚度和外腔谐振腔的厚度；激光光束的出射方向与衬底指向外腔谐振腔的方向平行。解决了现有技术中垂直腔面发射激光器的腔长较短，光谱线宽较大，影响激光器的器件性能和稳定性，难以满足垂直腔面发射激光器的窄线宽应用要求的技术问题。 |
