制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201510598395.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105304732B | 公开（公告）日 | 2017-08-25 |
| 申请公布号 | CN105304732B | 申请公布日 | 2017-08-25 |
| 分类号 | H01L31/0224(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘佳 | 申请（专利权）人 | 河北贵能新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司;河北贵能新能源科技有限公司 |
| 地址 | 063200 河北省唐山市曹妃甸工业区市政大厦5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用，该方法包括：(1)利用导电氧化物，在衬底的一个表面上进行沉积处理，以便形成沉积薄膜，沉积处理包括依次进行的一次沉积和二次沉积；以及(2)对沉积薄膜进行湿法蚀刻，以便形成透明导电氧化物薄膜，其中，一次沉积是在0～400摄氏度的温度下进行的，以及二次沉积是在400～800摄氏度的温度下进行的。发明人发现，利用本发明的该方法，能够快速有效地制备获得透明导电氧化物薄膜，且步骤简单，操作容易、方便快捷，制备获得的透明导电氧化物薄膜具有较高的光透过率、高雾度和较高的均匀性。 |
