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微机电系统MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风

基本信息

申请号 CN202120343615.X 申请日 -
公开（公告）号 CN214205841U 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN214205841U 申请公布日 2021-09-14
分类号 H04R19/04 分类 电通信技术;
发明人 张彦秀;金文盛;陈兆震;王乾;韦仕贡 申请（专利权）人 北京燕东微电子科技有限公司
代理机构 北京新知远方知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 马军芳;张艳
地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号1幢4层4D15
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例提供了一种微机电系统MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风，涉及MEMS麦克风技术领域。MEMS麦克风芯片包括：基板，基板具有声腔；振动电极板，振动电极板设置在基板的一侧，振动电极板遮盖声腔；背极板；其中，振动电极板具有朝向基板的第一表面及背离基板的第二表面，第一表面包括与声腔相对的第一区域以及环绕第一区域的第二区域，第一区域设置有朝向基板延伸的第一凸起部，第一凸起部靠近第一区域的边缘设置；振动电极板的第二表面设置有朝向基板凹陷的第一凹陷部，第一凹陷部与第一凸起部对应设置。本申请实施例解决了传统的MEMS麦克风芯片因振动电极板的有效振动领域较小所导致的灵敏度不高的问题。