一种石英坩埚清洗装置

基本信息

申请号 CN201720121292.3 申请日 -
公开(公告)号 CN206519413U 公开(公告)日 2017-09-26
申请公布号 CN206519413U 申请公布日 2017-09-26
分类号 B08B9/093(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 刘福鸿;陈宝昌 申请(专利权)人 扬州乐邦石英制品有限公司
代理机构 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 邱兴天
地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区长江路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种石英坩埚清洗装置,包括箱体和位于箱体上方的罩部,罩部具有活动门,箱体上表面安装有基板,罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂,上L型臂安装在罩部顶部,下L型臂安装在液压缸的自由端上,液压缸安装在基板上,下圆环板固定在基板上,下圆环板上具有圆形导轨,上圆环板下表面具有与圆形导轨啮合的圆环形凹槽,基板上还安装有电机,电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊;上L型臂的两个臂上均具有喷嘴,下L型臂的两个臂上均具有喷嘴;箱体内具有储液部和液体泵,每个喷嘴均与储液部连接。本实用新型的清洗装置清洗全面,且坩埚放置稳定。