一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统
基本信息
申请号 | CN201720115096.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206469851U | 公开(公告)日 | 2017-09-05 |
申请公布号 | CN206469851U | 申请公布日 | 2017-09-05 |
分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘福鸿;陈宝昌 | 申请(专利权)人 | 扬州乐邦石英制品有限公司 |
代理机构 | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 邱兴天 |
地址 | 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区长江路6号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统,包括输送部和检测部,输送部包括两根平行的横梁,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊,输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;检测部包括液压缸和设置在液压缸自由端的横杆,横杆的两端分别设置有第一竖杆和第二竖杆,第一竖杆上具有第一激光测距装置,第二竖杆上具有第二激光测距装置,第二竖杆上还设置有第三激光测距装置,检测部还包括顶板和设置在顶板上的第四激光测距装置;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过其中一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。本实用新型的测量装置效率高,且测量准确。 |
