一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统

基本信息

申请号 CN201720115096.5 申请日 -
公开(公告)号 CN206469851U 公开(公告)日 2017-09-05
申请公布号 CN206469851U 申请公布日 2017-09-05
分类号 G01B11/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘福鸿;陈宝昌 申请(专利权)人 扬州乐邦石英制品有限公司
代理机构 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 邱兴天
地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区长江路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统,包括输送部和检测部,输送部包括两根平行的横梁,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊,输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;检测部包括液压缸和设置在液压缸自由端的横杆,横杆的两端分别设置有第一竖杆和第二竖杆,第一竖杆上具有第一激光测距装置,第二竖杆上具有第二激光测距装置,第二竖杆上还设置有第三激光测距装置,检测部还包括顶板和设置在顶板上的第四激光测距装置;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过其中一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。本实用新型的测量装置效率高,且测量准确。