一种电桥结构的红外温度传感器
基本信息
| 申请号 | CN200910107270.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101881668A | 公开（公告）日 | 2010-11-10 |
| 申请公布号 | CN101881668A | 申请公布日 | 2010-11-10 |
| 分类号 | G01J5/24(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蔡毅;王宏臣 | 申请（专利权）人 | 世纪晶源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518107 广东省深圳市光明新区高新技术产业园化合物半导体产业基地世纪晶源 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种电桥结构的红外温度传感器，包括衬底上的电阻器电桥，该电阻器电桥包括光敏电阻、环境参考电阻和焦耳热参考电阻，其中：在所述的光敏电阻和焦耳热参考电阻下边的衬底设置有凹槽，该凹槽与其上的电阻形成悬浮桥式结构；本发明在光敏电阻和焦耳热参考电阻下边的衬底上设置凹槽，凹槽内的空气形成热绝缘层，减小了传感器敏感区与衬底间的热传导，提高了目标温度测量的精确度，其次，传感器热敏材料选用高电阻温度系数的氧化钒薄膜，也有利于提高器件的测温准确性。 |
