一种空气绝热薄膜式红外传感器
基本信息
| 申请号 | CN200910107271.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101881664A | 公开（公告）日 | 2010-11-10 |
| 申请公布号 | CN101881664A | 申请公布日 | 2010-11-10 |
| 分类号 | G01J5/00(2006.01)I;G01J5/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王宏臣;展恩荣 | 申请（专利权）人 | 世纪晶源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518107 广东省深圳市光明新区高新技术产业园化合物半导体产业基地世纪晶源 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及红外传感器领域，提供一种空气绝热薄膜式红外传感器，包括硅衬底及其上的传感光敏区，该传感光敏区包括支撑层、上下电极、热释电薄膜、钝化层和红外吸收层，其中：所述的硅衬底上形成有空腔，该空腔内的空气形成绝热层，空腔上放置有桥腿，所述的光敏传感区通过桥腿支撑悬浮在空腔之上。本发明通过在衬底上形成空腔，该空腔上设置桥腿，所述的传感器光敏区通过该桥腿悬浮支撑在空腔之上，从而光敏区与衬底不是直接接触，而是以空腔里的空气作为绝热层，使传感器与衬底间的热损失小，提高传感器的灵敏度，非常适用于高灵敏度的红外线探测领域。 |
