一种分子泵调试台
基本信息
| 申请号 | CN201520120377.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204646743U | 公开（公告）日 | 2015-09-16 |
| 申请公布号 | CN204646743U | 申请公布日 | 2015-09-16 |
| 分类号 | F04D27/00(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 朱秀明;王燕;翟晓烨;施琦 | 申请（专利权）人 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明;陈亮 |
| 地址 | 102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种分子泵调试台，所述调试台由多个调试台单元组合，每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统，所述机架上放置两台待调试分子泵，所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上方；所述排气系统的排气管引向所述机架的后侧，固定在后侧的梁上；每个调试台单元的排气系统连接到共同的前级机械泵上，且所述排气系统的排气管连接到总排气管道上。利用该分子泵调试台能够优化操作流程，节约调试成本，实现更安全和集中的控制。 |
