一种分子泵的转子

基本信息

申请号 CN201510092140.0 申请日 -
公开(公告)号 CN104613008B 公开(公告)日 2017-10-24
申请公布号 CN104613008B 申请公布日 2017-10-24
分类号 F04D29/32(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 董欣;郁晋军;朱秀明 申请(专利权)人 北京北仪创新真空技术有限责任公司
代理机构 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人 北京北仪创新真空技术有限责任公司;北京四海祥云流体科技有限公司
地址 102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种分子泵的转子,在转子的每层叶片之间不留间隙,并去除原分子泵转子中的定片,直接将各层叶片层联接;并通过调整不同层叶片的抽速与压缩比,使所述转子整体各层叶片的抽气效能相互衔接。所述各层转子叶片被设计成相邻层叶片首尾相连的涡轮型结构,并利用光滑连续的曲面连接所述各层转子叶片。通过优化转子叶片的结构,大幅降低加工转子的难度,并降低了分子泵的损坏几率。