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一种引脚重布局的无源器件及其制作方法

基本信息

申请号	CN202110904043.2	申请日	-
公开（公告）号	CN113628978A	公开（公告）日	2021-11-09
申请公布号	CN113628978A	申请公布日	2021-11-09
分类号	H01L21/48（2006.01）I;H01L23/498（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	不公告发明人	申请（专利权）人	上海芯波电子科技有限公司
代理机构	上海乐泓专利代理事务所（普通合伙）	代理人	王瑞
地址	201210上海市浦东新区纳贤路60弄5号4层01室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种引脚重布局的无源器件的制作方法，包括以下步骤：S1在衬底片上制作体通孔；S2在衬底片上下表面分别制作位于下表面的第一金属层和位于上表面的第二金属层，并在第一金属层上旋涂第一介质层；S3在第二金属层上旋涂第二介质层,在第二介质层上电镀第三金属层，并在第三金属层上旋涂第三介质层；S4在第三介质层上刻蚀出第一通孔；S5制作第四金属层，并在第四金属层上旋涂第四介质层,在第四介质层上刻蚀出第二通孔；S6制作第五金属层，并在第五金属层上旋涂第五介质层；S7在第一介质层上刻蚀出焊盘开窗。本发明通过高孔径比的体通孔和较厚的表面布线层，将集成无源器件表面分布不规则的焊盘重新分配，且焊盘可与基板直接。