一种单晶硅片加工用表面清理设备
基本信息
| 申请号 | CN202020201862.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211914714U | 公开（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申请公布号 | CN211914714U | 申请公布日 | 2020-11-13 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 庄智慧 | 申请（专利权）人 | 上海合晶硅材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海合晶硅材料股份有限公司 |
| 地址 | 201617上海市松江区石湖荡镇长塔路558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅片加工用表面清理设备，包括支撑机构，支撑机构上端固定连接有清理机构，清理机构下方设有放置机构，将单晶硅片放置于放置机构中的放置槽内，再启动支撑机构中的气缸，气缸伸缩带动放置盒进行上升，再通过启动清理机构中的电机，电机转动带动固定块与清理条进行转动，再通过放置槽内的单晶硅片上表面与清理条接触进行清理，清理完成再通过推动推杆，使固定杆推出放置槽外，同时带动单晶硅片露出放置槽外，再通过托住单晶硅片没清理一面拿取，有效的实现了现有的单晶硅片加工清理，无需人工进行清理，清理效率提高，同时拿取的时候不会碰到刚清理的表面，清理面积均匀。 |
