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一种硅片抛光用废料回收装置

基本信息

申请号 CN201920145132.1 申请日 -
公开（公告）号 CN209598923U 公开（公告）日 2019-11-08
申请公布号 CN209598923U 申请公布日 2019-11-08
分类号 B24B29/02（2006.01）I; B24B55/12（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 张俊杰 申请（专利权）人 上海合晶硅材料股份有限公司
代理机构 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海合晶硅材料有限公司;上海合晶硅材料股份有限公司
地址 201617 上海市松江区贵南路500号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架、废料筒、集料漏斗和排废漏斗，设备撑架的中部螺丝固定有废料筒，废料筒的上方设有集料漏斗，废料筒与集料漏斗之间连接有颈管，颈管内设有空腔，空腔内设有拨料盘，颈管通过转轴与拨料盘转动连接，颈管的外侧螺丝固定有伺服电机，伺服电机的输出端穿过颈管外壁与拨料盘焊接，拨料盘的曲面上等距分布有四个凹槽，本实用新型通过设置风管、离子风机和废料筒，可在装置内部形成旋风，气流沿废料筒内壁旋转上升，正负电荷可消除废料筒内壁的静电，使得抛光碎屑不会粘附在废料筒内壁上，多个泄压管可有效将高压气体排出，泄压管管口远离废料筒内壁，可避免抛光废料被离心力甩出。