一种单晶硅生产用分选装置
基本信息
申请号 | CN201920145956.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209759641U | 公开(公告)日 | 2019-12-10 |
申请公布号 | CN209759641U | 申请公布日 | 2019-12-10 |
分类号 | C30B29/06(2006.01); C30B35/00(2006.01); G01B5/06(2006.01) | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 施斌 | 申请(专利权)人 | 上海合晶硅材料股份有限公司 |
代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海合晶硅材料有限公司;上海合晶硅材料股份有限公司 |
地址 | 201617 上海市松江区贵南路500号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅生产用分选装置,包括分选台、盖板和测量壳,分选台下表面两端均固定连接有支脚,分选台上表面中间垂直固定连接有凹字型梯形柱,凹字型梯形柱顶端通过销轴活动连接有第一半齿轮,第一半齿轮位于非齿形端固定连接有连接杆,连接杆远离第一半齿轮一端固定连接有耐磨手柄,本实用新型的有益效果是:通过将形状和大小一致的单晶硅片放置在放置板上,利用两个半齿轮啮合运动来实现盖板的下压,由于测量壳内的顶杆底端与盖板下表面处于同一平面,所以可利用测厚板上升的高度直接就能测出单晶硅片的厚度,测量手段简单,分选合理,而且手动测量比较准确,且不易损伤单晶硅片。 |
