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一种硅片夹持机构

基本信息

申请号 CN201920145958.8 申请日 -
公开（公告）号 CN209599036U 公开（公告）日 2019-11-08
申请公布号 CN209599036U 申请公布日 2019-11-08
分类号 B25B11/00（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 丁斌 申请（专利权）人 上海合晶硅材料股份有限公司
代理机构 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海合晶硅材料有限公司;上海合晶硅材料股份有限公司
地址 201617 上海市松江区贵南路500号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，驱动箱内设有中心转杆，驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个滑杆分别套接有一个滑套，滑套的上侧均焊接有夹板，滑套的下侧均焊接有圆杆，本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸。