一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管

基本信息

申请号 CN201410424006.1 申请日 -
公开(公告)号 CN104183502A 公开(公告)日 2014-12-03
申请公布号 CN104183502A 申请公布日 2014-12-03
分类号 H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;G02F1/167(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王金科;刘丹军;包顺 申请(专利权)人 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司
地址 410205 湖南省长沙市高新技术开发区麓枫路40号园内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管,通过在驱动基板上分别形成扫描线路层、绝缘层、氧化物半导体层及数据线路层,将扫描线路层上的扫描线路的一端、绝缘层以及数据线路层的转接线的一端熔融在一起,使扫描线路层的扫描线路与转接线连通,并将与扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器连接,实现了扫描线路与控制器的连接,并且,无需专门打孔即可实现转接线通过绝缘层,并使扫描线路、绝缘层、转接线熔融在一起,使得工艺简单,并节约了成本。