一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管
基本信息
申请号 | CN201410424006.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104183502A | 公开(公告)日 | 2014-12-03 |
申请公布号 | CN104183502A | 申请公布日 | 2014-12-03 |
分类号 | H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;G02F1/167(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 王金科;刘丹军;包顺 | 申请(专利权)人 | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
地址 | 410205 湖南省长沙市高新技术开发区麓枫路40号园内 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管,通过在驱动基板上分别形成扫描线路层、绝缘层、氧化物半导体层及数据线路层,将扫描线路层上的扫描线路的一端、绝缘层以及数据线路层的转接线的一端熔融在一起,使扫描线路层的扫描线路与转接线连通,并将与扫描线路熔融后的转接线的另一端与驱动基板的控制器连接,实现了扫描线路与控制器的连接,并且,无需专门打孔即可实现转接线通过绝缘层,并使扫描线路、绝缘层、转接线熔融在一起,使得工艺简单,并节约了成本。 |
