一种改善平板显示器感光材料信赖性的方法
基本信息
| 申请号 | CN201010100322.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101762989B | 公开（公告）日 | 2013-03-20 |
| 申请公布号 | CN101762989B | 申请公布日 | 2013-03-20 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 林荣丰;詹国华;韩荣敏;滕术军;王载忠;王金科 | 申请（专利权）人 | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司 |
| 代理机构 | 长沙新裕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
| 地址 | 410205 湖南省长沙市高新技术产业开发区(麓谷)麓枫路40号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种改善平板显示器感光材料信赖性的方法，采用黄光光刻工艺在基板上制作感光材料膜层，包括涂胶、曝光、显影、固化步骤，其特征在于所述涂胶步骤中，形成的感光材料膜层厚为0.5-20um；曝光步骤中的曝光量至少为250mj/cm2。本发明方法可极大地提高感光材料在基板上的附着性，可增强感光材料的膜层结构，使感光材料能承受高浓度的强酸、强碱等化学药品的腐蚀和长时间高温高湿的沸水蒸煮、急冷急热的环境冲击，具有较好的信赖性(可靠性)。 |
