一种刻蚀下喷淋系统
基本信息
| 申请号 | CN201220255246.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202595278U | 公开（公告）日 | 2012-12-12 |
| 申请公布号 | CN202595278U | 申请公布日 | 2012-12-12 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张学文;张高中;王金科;戴毅;吴松 | 申请（专利权）人 | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 410205 湖南省长沙市高新区麓枫路40号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种生产效率高、避免过程损失的刻蚀下喷淋系统，包括传送机构，安装在传送机构上端的上喷淋机构，所述传送机构下端设有下喷淋机构，所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。本实用新型的刻蚀下喷淋系统在制作双面图形时，可通过一次刻蚀实现，显著提高了生产效率；在制作双面图形时不需要在剥离段之前手动收集基板，避免过程损失；在刻蚀单面图形时还可以去除背面绕射。 |
