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一种用于空气环境中的高灵敏氢气传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110144024.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113155904A 公开（公告）日 2021-07-23
申请公布号 CN113155904A 申请公布日 2021-07-23
分类号 G01N27/12 分类 测量；测试;
发明人 胡军;陈敏瑞;谢波;刘伊妮;王一涛 申请（专利权）人 浙江固微科技有限公司
代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人 尉伟敏
地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于空气环境中的高灵敏氢气传感器及其制备方法，包括干燥单元、传感单元及外电路；传感单元包括密封腔体以及设置在密封腔体内的传感组件，传感组件包括设置在密封腔体底部的绝缘衬底、设置在绝缘衬底上表面的钯团簇薄膜以及设置在钯团簇薄膜两端的两个导电微电极，密封腔体上设有两个接线端子，接线端子位于密封腔体内的一端与导电微电极通过导线连接，位于密封腔体外的一端与外电路通过导线连接；密封腔体与干燥单元连通，干燥单元上设有进气口。本发明采用由钯团簇组成的渗流导电薄膜，能够实时感应监测空气中氢气浓度的变化，具有灵敏度高、响应时间短的优势，并且在运行过程中无需加热，无需将氢气预先分离。