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一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用

基本信息

申请号 CN202110144469.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113144760A 公开（公告）日 2021-07-23
申请公布号 CN113144760A 申请公布日 2021-07-23
分类号 B01D46/00;B01D46/42;C23C14/22;G01N33/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 胡军;谢波;陈敏瑞;丁伯胜;王一涛 申请（专利权）人 浙江固微科技有限公司
代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人 尉伟敏
地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用，包括主体构件和对中辅助构件，主体构件包括环形底座、固定环及过滤锥；环形底座一端外侧设有外台阶环，固定环的内侧设有内台阶环，固定环套设在环形底座外，通过第一连接件与安装平面连接，环形底座与固定环的内壁之间间隙配合，外台阶环顶面与内台阶环顶面相贴合；过滤锥与环形底座可拆卸连接；对中辅助构件包括对中辅助环和与对中辅助环内径相匹配的、套设在对中辅助环内的对中辅助棒；对中辅助环与环形底座可拆卸连接。本发明将过滤锥安装在一个位置可调的底座上来实现位置调动功能，并通过辅助对中装置使过滤器对中于团簇束流轴线上，达到沉积高质量团簇组装薄膜材料的目的。