一种低温、低电压阳极键合基板材料及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811167938.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109206015A | 公开（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申请公布号 | CN109206015A | 申请公布日 | 2019-01-15 |
| 分类号 | C03C10/12;H01L23/29;C03B32/02 | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 李永祥;陈冠羽;刘志甫;马名生;魏安庆 | 申请（专利权）人 | 浙江矽瓷科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海瀚桥专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所;浙江矽瓷科技有限公司 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区定西路1295号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种低温、低电压阳极键合基板材料及其制备方法，所述阳极键合基板材料的组分包括A2O‑MOx‑SiO2，其中A为Li、Na、K中的至少一种；M为B、Al、Ga、In、Mg、Ca、P、V、Cu、Mn中的至少两种；A2O含量为10～50 wt%，MOx含量为5～40 wt%，SiO2含量为10～70 wt%，各组分含量之和为100wt%。 |
