一种光致发光的检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202020546229.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211825686U | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN211825686U | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | G01N21/63(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 蔺旭利;黄良辉;杨至灏;贺克成 | 申请（专利权）人 | 佛山市瑞纳新材科技有限公司 |
| 代理机构 | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 | 代理人 | 佛山市瑞纳新材科技有限公司 |
| 地址 | 528200广东省佛山市南海区桂城街道夏南路12号天富科技中心3号楼一层101单元(住所申报) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种光致发光的检测装置，包括：密闭箱体、硅放置板、相机支架、检测相机和发光件；硅放置板安装于密闭箱体的底部，用于放置硅片和/或晶圆片；相机支架的一端固定于密闭箱体内，另一端连接检测相机；检测相机的镜头部分指向硅放置板；发光件设置于检测相机与硅放置板之间的位置；发光件包括：环状安装壳和灯件；环状安装壳为喇叭状的通壳，其下底面的口径大于上顶面的口径；检测相机的镜头位于上顶面的上方。环状安装壳的内环设有锥形端面；锥形端面设有若干个灯安装口；灯件安装于灯安装口，灯件为红外灯。检测装置能更准确、快速地捕捉到光子的分布，从而经过图像处理得到所需要的器件结构的状况，具有结构简单、成本低和检测精确的特点。 |
