一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元、芯片以及水听器专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元、芯片以及水听器

基本信息

申请号	CN202111140667.8	申请日	-
公开（公告）号	CN114034377A	公开（公告）日	2022-02-11
申请公布号	CN114034377A	申请公布日	2022-02-11
分类号	G01H11/08（2006.01）I;H01L41/113（2006.01）I;H01L41/047（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	杨华;王晓波;张浩	申请（专利权）人	青岛国数信息科技有限公司
代理机构	青岛锦佳专利代理事务所（普通合伙）	代理人	朱玉建
地址	266000山东省青岛市即墨市青岛蓝色硅谷创业中心一期海创中心
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元，其包括由下向上依次设置的SOI基片、第一AIN压电层、第一电极层、隔离层、第二AIN压电层以及第二电极层；第一电极层与第一AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第一电极层包括第一正电极和第一负电极；第一正电极设置于第一电极层的中心区域且呈圆形；第一负电极设置于第一电极层的外侧边缘区域且呈环形；第二电极层与第二AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第二电极层包括第二正电极和第二负电极；第二正电极设置于第二电极层的中心区域且呈圆形；第二负电极设置于第二电极层的外侧边缘区域且呈环形。本发明利于提高压电效率以及压电电荷的采集效率，从而提高水听器芯片的灵敏度。