一种AIN压电薄膜水听器芯片单元、芯片以及水听器
基本信息
| 申请号 | CN202111140669.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114034370A | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN114034370A | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | G01H3/06（2006.01）I;H01L41/113（2006.01）I;H01L41/047（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨华;王晓波;张浩 | 申请（专利权）人 | 青岛国数信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛锦佳专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱玉建 |
| 地址 | 266000山东省青岛市即墨市青岛蓝色硅谷创业中心一期海创中心 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种AIN压电薄膜水听器芯片单元、芯片以及水听器。其中，AIN压电薄膜水听器芯片单元，包括由下向上依次设置的SOI基片、AIN压电层以及电极层；其中，电极层包括正电极和负电极；正电极设置于电极层的中心区域，且呈圆形；负电极设置于电极层的外侧边缘区域，且呈环形；其中，正电极所占面积为电极层面积的70％，负电极所占面积为电极层面积的20％。本发明通过改进AIN压电薄膜水听器芯片单元中正负电极的排布方式，利于提高水听器芯片单元的正负电荷采集效率，进而增加了正电极与负电极之间的电势差，从而提高了AIN压电薄膜水听器芯片的灵敏度，进一步保证了水听器的灵敏度。 |
