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一种抗高过载的电容式MEMS振动环陀螺

基本信息

申请号 CN202023000273.6 申请日 -
公开（公告）号 CN214121212U 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN214121212U 申请公布日 2021-09-03
分类号 G01C19/5684（2012.01）I 分类 测量；测试;
发明人 黄尉;李晶;刘东;葛志鹏;韩世杰;武浩;李慧娟;包艳萍;陈红;付博 申请（专利权）人 淮海工业集团有限公司
代理机构 北京正阳理工知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王松
地址 046012山西省长治市惠丰街1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开的一种抗高过载的电容式MEMS振动环陀螺，属于MEMS微机电系统的硅微环形振动结构领域。本实用新型包括振动环谐振子、支撑弹簧、驱动控制电极、检测控制电极。振动环谐振子用于生成角度和角速度，驱动控制电极和检测控制电极间隔对称分布在振动环谐振子外侧，作为电容电极，组成电容式传感器，将位移变化量转换为电容变化量。支撑弹簧将振动环谐振子和玻璃锚点连接。当驱动控制电极的输入信号频率与振动环谐振子的固有频率一致时，能够激励出振动环谐振子的振动。本实用新型采用静电力驱动、电容检测，具有抗高过载性能好、体积小、响应速度快、灵敏度高的优点，能够在后期调整改善其陀螺性能。