一种气体团簇离子源产生方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201710664910.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107393794A | 公开（公告）日 | 2017-11-24 |
| 申请公布号 | CN107393794A | 申请公布日 | 2017-11-24 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J27/02(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;付德君 | 申请（专利权）人 | 武汉飞安磁光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人 | 邱琳 |
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区大学园路20号武汉普天科技园1幢特区1-102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种气体团簇离子源产生方法，利用脉冲控制阀控制喷出脉冲式气流束，脉冲式气流束经过分束器，中性团簇粒子和部分单原子通过分束器，脉冲式气流束经过电离器进行离化，脉冲式气流束继续经过吸极，在吸极内获得初始加速度并汇聚形成收敛的圆锥形气流束，圆锥形气流束继续经过加速器和透镜后通过E型永久磁铁，形成团簇离子束。本发明同时提供了一种气体团簇离子源产生装置，包括脉冲控制阀以及沿脉冲式气流束喷出方向依次布置的分束器、电离器、吸极、加速器、透镜以及E型永久磁铁。本发明可在标准温度和一定气压下使得中性团簇在与电子的碰撞中发生电离，形成气体团簇离子，后在吸极等作用下，汇聚成团簇离子束。 |
