一种阴极电弧靶冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN201420150138.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203754799U | 公开（公告）日 | 2014-08-06 |
| 申请公布号 | CN203754799U | 申请公布日 | 2014-08-06 |
| 分类号 | C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 田灿鑫;韩滨;付德君 | 申请（专利权）人 | 武汉飞安磁光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 宜昌市三峡专利事务所 | 代理人 | 姜荣华 |
| 地址 | 443500 湖北省宜昌市长阳创新产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道，靶材嵌在靶座表面上；所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开，铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间，靶材与铜板相接触；所述冷却水道内通过液体时，铜板受液体压力向靶材凸出。本实用新型的优点在于，利用铜片良好的传导性导热，同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开，其设备的冷却效果好，又不影响真空设备及生产效率。 |
