一种强流低能团簇离子束导向装置
基本信息
| 申请号 | CN201720100087.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206685346U | 公开（公告）日 | 2017-11-28 |
| 申请公布号 | CN206685346U | 申请公布日 | 2017-11-28 |
| 分类号 | H01J37/147;H01J37/317 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王泽松;韩滨;瓦西里·帕里诺维奇;余益飞;付德君 | 申请（专利权）人 | 武汉飞安磁光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人 | 刘荣;周宗贵 |
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区大学园路20号普天科技园1大楼一层103-3室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种强流低能团簇离子束导向装置，包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁，电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离，两个电极之间区域构成离子束通道；磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定，两个磁铁均为永磁铁或电磁铁；本实用新型可提供稳恒‑可变两种磁场模式，通过改变电场强度大小，可调节团簇离子束流输运方向，通过极靴和绝缘体固定磁铁与电极，保证磁铁不会相互排斥或吸引而偏离固定位置，保证磁铁安装的灵活性和安全性，绝缘体隔离磁铁与电极，以保证磁铁与电极位置固定以确保各自的磁场、电场分布比较均匀，确保调节束流方向，在强流低能团簇离子束纳米加工设备中具有重要的实际应用价值。 |
