一种铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器及测量系统

基本信息

申请号 CN202110749761.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113433368A 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN113433368A 申请公布日 2021-09-24
分类号 G01R15/24;G01R19/00 分类 测量;测试;
发明人 朱琨;陆德坚;张家洪;陈福深 申请(专利权)人 北京森馥科技股份有限公司
代理机构 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 李娜
地址 102218 北京市昌平区北七家镇宏福10号院4号楼101室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器及测量系统,传感器包括:x切y传铌酸锂晶片作为铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器的衬底;多环形天线接收载流导线产生的磁场信号生成感应电流;调制电极与多环形天线集成于非对称MZI光波导上,多环形天线的每一环左右两边均设置有一对调制电极;非对称MZI光波导设置于x切y传铌酸锂晶片上;多环形天线和载流导线通过所述底座处于同一平面,且载流导线设置于铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器的侧边。本发明能够在与被测电流无接触的条件下,安全地进行电流测量,同时还避免了能量的辐射,提高了测量效率,并且极大地提高了传感器的集成度和稳定性,降低了结构的复杂程度。