首页/ 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司/ 专利详情

一种采用无压烧结法制备ITO靶材的方法

基本信息

申请号 CN201710190222.8 申请日 -
公开（公告）号 CN106904944B 公开（公告）日 2020-02-21
申请公布号 CN106904944B 申请公布日 2020-02-21
分类号 C04B35/01;C04B35/457;C04B35/634;C04B35/64 分类 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人 张天舒;宋晓超;张天宇;何东 申请（专利权）人 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张清彦
地址 230012 安徽省合肥市新站区文忠路999号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种采用无压烧结法制备ITO靶材的方法，属于ITO靶材制备技术领域，包括以下步骤：混合盐溶液及沉淀体系的制备：根据重量比为In2O3：SnO2＝9:1，量取InCl3溶液和SnCl4溶液置于反应釜中，加入过量20％以上的尿素，再加入复合分散剂，搅拌混合均匀；逐步升温至反应液中In3+完全沉淀为止，超声处理，保持搅拌并陈化，得到金属沉淀物；经洗涤、干燥、研磨、过筛、高温煅烧，得高烧结活性的纳米ITO粉末；在ITO粉末中加入聚乙烯醇造粒，利用模具压制成ITO素坯；将素坯置于无压氧气氛烧结炉中保温1400～1700℃，可得高致密化的ITO靶材(》99.5％)。