微机电传感器
基本信息
| 申请号 | CN202022170718.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214122270U | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN214122270U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | G01P15/125（2006.01）I;B81B5/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 季锋;闻永祥;刘琛;贺锦 | 申请（专利权）人 | 杭州士兰集昕微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡纯;马陆娟 |
| 地址 | 310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种微机电传感器，微机电传感器包括：位于衬底上的埋层，埋层上设置有多个检测电极和多个布线电极；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线电极互不接触；位于扭摆臂上方的扭摆和多个可动扭摆块，多个可动扭摆块通过扭摆臂与扭摆连接，多个可动扭摆块和扭摆臂形成可动结构；位于扭摆臂上方的多个固定电极；位于埋层上的支撑壁，保护壁位于支撑壁上，支撑壁和保护壁围成空腔，可动结构、扭摆、多个检测电极、多个布线电极和多个固定电极位于空腔中。本实用新型实施例提高了微机电传感器的灵敏度，改善了可动结构在冲击下断裂的问题。 |
