一种高性能CrAlSiX合金靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911401707.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111188016A | 公开（公告）日 | 2020-05-22 |
| 申请公布号 | CN111188016A | 申请公布日 | 2020-05-22 |
| 分类号 | C23C14/34;C22C21/00;C22C27/06;C22C30/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张凤戈;张欠男;魏铁峰;李建奎;姚伟;缪磊 | 申请（专利权）人 | 北京安泰六九新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 地址 | 100081 北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高性能CrAlSiX合金靶材及其制备方法，其中，X为W、Mo、Nb、Ta中的一种或多种，所述高性能CrAlSiX合金靶材具有双层结构且由上层和底层复合而成，所述上层为CrAlSiX基体靶，所述CrAlSiX基体靶按原子百分比由以下成分组成：Cr＝20‑70％，Al＝20‑70％，Si＝0‑20％，X＝1‑20％；所述底层为具有良好导热性能和力学性能的金属合金。采用本发明靶材制备的刀具涂层可显著提升高速干式切削时的切削速率和刀具使用寿命。 |
