一种钛硅合金靶材及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010154164.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111136265B | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN111136265B | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | B22F3/04（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;C22C1/05（2006.01）I;C22C1/10（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 铸造；粉末冶金; |
| 发明人 | 张凤戈;李建奎;魏铁峰;张欠男;缪磊;张学华;岳万祥 | 申请（专利权）人 | 北京安泰六九新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘春成;荣红颖 |
| 地址 | 100081北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种钛硅合金靶材及制造方法，属于合金靶材制备领域。该方法包括：合金粉末制备步骤，将钛源和硅源混料制成合金粉末；冷等静压步骤，对所述合金粉末进行冷等静压处理，得到压坯；脱气步骤，对所述压坯进行脱气处理；热等静压步骤，对所述脱气处理后的压坯进行热等静压处理，得到钛硅合金靶材。钛硅合金靶材具有致密度高、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小等优点，相对密度超过99％，平均晶粒尺寸不大于100μm。 |
