一种复合靶材及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202111242414.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113981389A | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN113981389A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;B22F7/02（2006.01）I;B22F3/14（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C22C21/00（2006.01）I;C22C27/06（2006.01）I;B22F3/00（2021.01）I;B22F3/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张凤戈;张欠男;魏铁峰;岳万祥;张学华;繆磊 | 申请（专利权）人 | 北京安泰六九新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100089北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及靶材制备的技术领域，具体公开了一种复合靶材及其制造方法，一种复合靶材的制造方法，所述复合靶材包括基体靶层和复合层，复合靶材包括以下制备步骤：S1：制备基体靶层粉末和复合层粉末；S2：基体靶层粉末和复合层粉末分层填充到模具中，在真空条件下进行热压烧结处理，经冷却后，脱模得到烧结致密的圧坯；S3：将致密化压坯通过轧制变形，得到大尺寸板坯；S4、将步骤S3得到轧制板坯进行机加工，得到符合尺寸和表面质量的复合靶材。一种复合靶材，所述复合靶材的复合层热导率不小于150W/（m.K），抗拉强度不小于90MPa，断后伸长率不小于2%。本申请具有提高靶材与复合层结合紧密性的效果。 |
