一种钛基合金的溅射靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111292639.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113996787A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN113996787A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | B22F3/15（2006.01）I;B22F3/02（2006.01）I;B22F3/03（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C22C1/04（2006.01）I | 分类 | 铸造；粉末冶金; |
| 发明人 | 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;张欠男;张学华;李建奎 | 申请（专利权）人 | 北京安泰六九新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100089北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请具体公开了一种钛基合金的溅射靶材的制备方法。包括以下步骤：S1混合，在保护气氛下，将原料混合得到混合粉末；S2冷压成型，将混合粉末加入到冷压模具中，压制成冷压坯，所述冷压坯的致密度为40‑87%；S3脱气，将冷压坯转移到热等静压模具中，脱气；S4热等静压烧结，脱气后的冷压坯在热等静压模具中进行热等静压烧结处理。本申请的制备方法具有材料利用率高、靶材生产成本低等优点。 |
