一种减薄机大盘
基本信息
| 申请号 | CN202121427711.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215999808U | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN215999808U | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | B24B7/22（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 周石坚;黄郁声 | 申请（专利权）人 | 东莞市智控鑫能实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523726广东省东莞市塘厦镇高丽社区高丽三路2号2栋一楼102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型适用于晶圆减薄机相关零部件领域，提供了一种减薄机大盘，所述大盘包括盘体，所述盘体的材料为大理石，所述盘体上开设有多个用于放置真空吸盘夹紧芯片主轴的主轴放置孔；所述真空吸盘夹紧芯片主轴通过连接组件安装在盘体上；所述主轴放置孔沿盘体圆周方向间隔设置。本实用新型实施例提供的一种减薄机大盘，设置盘体为大理石材料，加工简单，工艺流程简单，解决传统的大盘的制造过程中弄由于采用铸铁材料而造成工艺复杂加工困难且对工人的技术水平要求高的问题。 |
