一种真空吸盘夹紧主轴排气结构及晶圆减薄机
基本信息
| 申请号 | CN202120025678.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214092763U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214092763U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | F16C35/063（2006.01）I;F16C33/58（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 周石坚;黄郁声 | 申请（专利权）人 | 东莞市智控鑫能实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523726广东省东莞市塘厦镇高丽社区高丽三路2号2栋一楼102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴排气结构，并基于该真空吸盘夹紧主轴排气结构提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴排气结构包括安装在旋转轴上的角接触球轴承，还包括单向排气件，用于向外排出两个所述角接触球轴承之间的高温高压气体，可以将高温高压气体向外排出，以保证整体结构的稳定性，避免通过油封脉冲排放高温高压气体，导致的真空吸盘夹紧主轴在旋转工作过程中产生震动的问题发生。 |
