一种真空吸盘夹紧主轴注油结构及晶圆减薄机
基本信息
| 申请号 | CN202120025067.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214063587U | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN214063587U | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | F16C35/063（2006.01）I;F16C33/58（2006.01）I;F16C33/66（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 周石坚;黄郁声 | 申请（专利权）人 | 东莞市智控鑫能实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523726广东省东莞市塘厦镇高丽社区高丽三路2号2栋一楼102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴注油结构，并基于该真空吸盘夹紧主轴注油结构提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴注油结构包括通过压紧块安装在旋转轴上的角接触球轴承，处于角接触球轴承上方的所述压紧块上开设有注油通道，所述注油通道内安装有直通式压注油杯，所述角接触球轴承处还安装有上油封和下油封，本实用新型的有益效果是：其可以通过压油枪压入油杯孔注入油脂进行补油操作，对角接触球轴承内的油脂进行及时的补充，解决了现有技术中，角接触球轴承内油脂无法得到及时补充，造成角接触球轴承的滚珠与滚道之间产生干摩擦，进而导致工作噪音和滚动游隙变大造成芯片尺寸不稳定的问题。 |
