一种轴承真空吸盘夹紧主轴的污油收集装置
基本信息
| 申请号 | CN202121429590.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215411324U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215411324U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | F16N31/02（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 周石坚;黄郁声 | 申请（专利权）人 | 东莞市智控鑫能实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523726广东省东莞市塘厦镇高丽社区高丽三路2号2栋一楼102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型适用于半导体晶圆减薄机领域，提供了一种轴承真空吸盘夹紧主轴的污油收集装置，所述装置包括集油件，所述集油件套设在旋转轴与角接触轴承的油封缝隙处，用于承接油封缝隙中泄漏的污油。通过设置集油件，在离心力的作用，使得油封缝隙中多余的污油会落到集油件中，从而起到收集污油的作用。解决了现有技术中由于没有对污油进行回收收集，污油会掉落在下端的同步轮、同步轮皮带上，使同步轮装置打滑从而造成影响芯片加工的问题。 |
