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一种真空吸盘夹紧主轴及晶圆减薄机

基本信息

申请号 CN202120025621.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214080871U 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN214080871U 申请公布日 2021-08-31
分类号 B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 周石坚;黄郁声 申请（专利权）人 东莞市智控鑫能实业有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 523726广东省东莞市塘厦镇高丽社区高丽三路2号2栋一楼102
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴，并基于该真空吸盘夹紧提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴包括：旋转轴；角接触向球轴承，安装在所述旋转轴上；外限位件，连接在相邻两个所述角接触向球轴承的外圈之间；内限位件，连接在相邻两个所述角接触向球轴承的内圈之间，用于对所述角接触向球轴承的滚道游隙进行限位，能够在保证轴承的旋转工作精度要求的前提下，可有效阻抗滚道游隙会出现变小的问题，从而使具有接触向球轴承的真空吸盘夹紧主轴能够替代昂贵且技术复杂的微孔石墨气浮吸盘夹紧主轴，该真空吸盘夹紧主轴的调试结果可以满足晶圆芯片在减薄机磨削加工精度所要求的卡死需求。