一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110955619.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113690191A | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN113690191A | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | H01L23/02（2006.01）I;H01L23/12（2006.01）I;H01L23/16（2006.01）I;H01L23/367（2006.01）I;H01L23/373（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;H01L29/08（2006.01）I;H01L29/423（2006.01）I;H01L29/739（2006.01）I;H01L21/28（2006.01）I;H01L21/331（2006.01）I;B08B17/04（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈利;陈彬 | 申请（专利权）人 | 厦门芯一代集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市卓易专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏昕 |
| 地址 | 361011福建省厦门市湖里区万翔国际商务中心1694号2#南楼705单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶体管技术领域，且公开了一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，包括衬垫层，所述衬垫层的上表面设有P+层，所述P+层的上表面设有漏区，所述漏区的上表面两侧开设有漏注入区，所述漏注入区的顶部设有源区。该一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，通过散热层的多层设置，能够充分吸收使用过过程中所产生的热量，通过散热片的设置，散热片能够有效的吸附第一铜层、陶瓷层和第二铜层所排出的热量，晶体管工作时，热量能够通过散热片被吸附出，从而有效的降低其温度，通过散热导管和延伸片的设置，进一步的提高了散热效果，使得晶体管工作时发热损耗降低，延长了使用寿命。 |
