一种自动化程度高的磷化铟清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202210120649.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114613696A | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114613696A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨晓静;周曼;潘功寰;顾正伟 | 申请（专利权）人 | 常州德匠数控科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市科谊专利代理事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进经济开发区竹香路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及清洗装置技术领域，具体涉及一种自动化程度高的磷化铟清洗装置。本发明涉及一种自动化程度高的磷化铟清洗装置，包括：清洗部包括：预洗池、上料组件和若干清洗组件，预洗池呈矩形，预洗池上端敞口，预洗池内适于盛放清洗溶液；上料组件可升降的设置在预洗池上方，上料组件适于夹持晶片浸入清洗溶液内；清洗组件与驱动部传动连接，清洗组件适于清理晶片表面；其中上料组件夹持晶片浸入预洗池内的清洗溶液后，驱动部驱动各清洗组件同步轴向转动摩擦晶片以清理晶片表面。晶片浸泡在清洗部内，并通过清洗组件的转动来达到清理晶片表面的效果，相比较传统的单独浸泡，提高了对晶片的清理效率。 |
