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开放式微焦点X射线源及其控制方法

基本信息

申请号	CN202111006063.4	申请日	-
公开（公告）号	CN113793790A	公开（公告）日	2021-12-14
申请公布号	CN113793790A	申请公布日	2021-12-14
分类号	H01J35/14（2006.01）I;H05G1/26（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	仇小军;孔文文;张伟;王刘成;侯颀	申请（专利权）人	无锡日联科技股份有限公司
代理机构	常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙）	代理人	姜晓钰
地址	214112江苏省无锡市新吴区漓江路11号
法律状态	-

摘要

本发明提供一种开放式微焦点X射线源及其控制方法，所述开放式微焦点X射线源包括：开放式射线管，开放式射线管包括阴极系统、偏转系统、聚焦系统；高压电源系统，高压电源系统用于为电子束提供发射电流I、加速高压U和栅压U；真空系统，真空系统用于进行抽真空处理；控制系统，控制系统用于根据轰击阳极靶的电子束的束斑尺寸控制高压电源系统对发射电流I、加速高压U、偏转系统的偏转线圈电流I、聚焦系统的聚焦线圈电流I进行调节，以使束斑尺寸满足预设要求。该开放式微焦点X射线源可以根据反馈参数变化对输入参数进行自动调节，使开放式微焦点X射线源工作在最佳参数下，减少人为操作引起的错误，使放射出的X光的质量更高，稳定性更好。