单片式多色光电探测器

基本信息

申请号 CN201810618766.4 申请日 -
公开(公告)号 CN108550600B 公开(公告)日 2021-04-27
申请公布号 CN108550600B 申请公布日 2021-04-27
分类号 H01L27/146 分类 基本电气元件;
发明人 邹泽亚 申请(专利权)人 杭州国翌科技有限公司
代理机构 浙江千克知识产权代理有限公司 代理人 郑娴雅
地址 311200 浙江省杭州市萧山区杭州萧山空港经济区保税路西侧保税大厦856室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出了一种单片式多色光电探测器,其包括衬底;在衬底上从下至上依次形成的第一吸收层结构、第二吸收层结构、……、第i吸收层结构、……、第N吸收层结构,N为大于1的正整数,i为大于1且小于等于N的正整数;每一个吸收层结构具有一个下接触层、一个吸收层和一个上接触层,相邻两个吸收层结构的接触层共用;沿光入射方向,N个吸收层的吸收波长逐渐变长。本发明采用多色探测器结构设计,能够实现短波红外或可见短波光谱范围内的多色同步探测或选择性带通探测。